VerifireHD激光干涉仪具有先进的性能和高空间分辨率，是制造和实验室环境中光学元件和系统的精密计量和表征。

Verifire HD具有完全一致的设计和高分辨率相机，可以产生高质量的成像。

该系统配备5.3 MP摄像头（2.3kx 2.3k像素分辨率）或1.4 MP摄像头（1.2kx 1.2k像素分辨率），可选配1X，1.7X和3X光学变焦炮塔，以优化各种部件的仪器性能大小。此外，Verifire HD干涉仪还包括专有的频率稳定激光器，可提供高输出和终身可靠性，以及ZYGO专利的QPSI耐振采集技术，该技术为仪器提供了在生产环境中获得可靠测量的独特能力。

Verifire HD干涉仪还支持全系列硬件选件和光学配件，并由我们全面的软件平台MX提供支持，提供关键数据采集，分析和可视化功能以及仪器硬件控制。通过定义的应用程序或可自定义的配方和脚本，可以轻松访问多功能性和扩展功能。

模块化设计允许配置以适应各种应用，具有25 mm至800 mm的可用孔径，水平和垂直安装配置，以及从工业级到极端精度的完整系列参考光学元件和附件。

VerifireHD系统提供更高的空间分辨率，并结合业界领先的Verifire系列激光干涉仪的可靠性和多功能性。

高空间抽样

大百万像素摄像头可提供高数据密度。

VerifireHD干涉仪标配530万像素摄像头（2.3 x 2.3K摄像头阵列），可提供高空间分辨率和数据密度，适用于高清表面和传输波前计量。

uQPSI振动耐受性计量学

在易受振动的环境中确保可靠和精确的结果。

QPSI技术是ZYGO专利的轴上采集方法，可以承受生产水平振动，同时在全摄像机分辨率下提供最佳测量精度，无需特殊校准或特定腔体配置。毫不妥协的计量学。

uULTRA-PERFORMANCE LASER

高输出，频率稳定激光器，3年保修 - 所有标准。

ZYGO在美国设计和制造，我们的激光器比市售的Fizeau激光干涉仪中使用的任何633 nm HeNe激光器具有更高的功率和可靠性。我们的激光器具有超过70,000小时的使用寿命，并享有行业领先的3年保修，可提供您期望的ZYGO性能和可靠性。

uSMARTAVERAGINGACQUISITION

消除了产生最低噪声测量的猜测。

凭借我们独特的Smart Averaging软件功能，您可以获得最高水平的精度和测量吞吐量，简单自动，为您提供简单的解决方案，优化计量并最大限度地减少操作员的可变性。

u相干减影系统（CARS）

通过可变缩放看你想要什么，想要什么。我们的CARS解决方案可以减少波前剪切，斑点或斑点造成的成像伪影和噪音6-10次。我们基于硬件的CARS解决方案通过软件设置简单地打开/关闭，非常适合需要亚纳米精度和最高质量表面数据的应用。

强大的软件套件

Verifire激光干涉仪由我们的Mx数据采集和分析软件包提供支持，具有数百个可报告参数。 表面表征和测量应用包括：

曲率半径

Transmitted Wavefront（传输波前？）

材料均匀性

山谷到山谷;PVR

棱镜，楔形，角立方体

PSD，PSF，MTF分析

放牧事件

Zernike和Legendre Fits

其他功能包括：

脚本

远程访问

领先的硬件选择和参考光学

精密测量取决于高质量的参考光学系统。 这就是为什么我们设计，制造和鉴定我们的传动平面和球体，以便为您提供激光干涉仪的最佳性能。 我们的认证制造和计量流程基于NIST认可的校准技术，确保所有ZYGO参考光学系统均达到或超过指定的性能。

硬件选项包括：

编码和缩放炮塔焦点

可切换极化

 

Fizeau高清干涉仪采用获得专利的QPSI采集，可在存在振动的情况下实现光学表面或波前的真正轴上公共路径测量。

测量能力 测量反射材料和光学器件的表面形式，并透射透明光学器件的波前QPSI快速机械相移和传统机械相移干涉测量（PSI）对齐系统 快速条纹采集系统（QFAS），带双点标线

测试光束直径 4 inch (102 mm) or 6 inch (152 mm)

对齐FOV 4英寸：±3度；6英寸：±2度

光学中心线 4.25 in. (108 mm)

530万像素摄像头 Resolution: 2304 x 2304 pixels
Frame Rate: 210 Hz
Digitization: 8 bit
Shutter Time: 200 μs – 10 ms 

 

1.4 MP Camera Details(Option) 

分辨率：1200 x 1200/600 x 600像素

帧速率：50 Hz / 82 Hz

数字化：10位

快门时间：>12μs

 

采集时间：130 - 300 ms 

Magnification 1X固定（1-50倍数字）;3位置变焦转塔 - 1X / 1.7X / 3X（需要1.4 MP相机选项）

偏振 名义上的圆形（1.2：1或更高）

瞳孔聚焦范围 4 inch: ±2.5 m；6 inch: ±4.5 m

操作系统：window 10,64位

 

安装配置 水平或垂直

无线遥控Apple iPod智能遥控器

其他选项 CARS（相干伪像抑制） - 最大限度地减少波前剪切，斑点或斑点的伪影

配件 请参阅ZYGO激光干涉仪附件指南，OMP-0463

仪器尺寸：4 inch:  69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；

重量：4 inch:  85 lb (38 kg)；

质保：激光三年，整机2年

 

激光参数：

激光光源：高功率稳定HeNe

等级  IIIa

波长  633 nm

频率稳定度  < 0.0001 nm

输出功率  <5 mW

相干长度  > 100 m

 

实用程序要求：

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

压缩空气：80 psi（5.5 bar）; 干燥和过滤源（可选隔振）

 

运营环境

温度15至30&deg;C（59至86&deg;F华氏度）

温度 每15分钟改变<1.0&deg;C

 湿度5至95％相对，非冷凝

振动隔离 QPSI不需要; PSI建议使用

 

性能

RMS重复性 < 0.06 nm, l/10,000 (2s)

RMS波前重复性  < 0.35 nm, l/1,800 (mean + 2s)

峰值像素偏差 < 0.5 nm, l/1,200 (99.5 )

 

1. 这些参数描述了操作条件; 它们不代表满足规定性能所需的环境稳定性。

2.性能合格，温度设定点稳定在20-23&deg;C之间。

3. RMS简单重复性定义为短的4英寸平面腔的36次连续测量（16个平均值）的RMS的标准偏差的2倍。

4. RMS波前重复性由平均RMS差异加上所有偶数测量值与合成参考值（定义为所有奇数测量值的平均值）之差的标准差的2倍定义; 36个连续测量（16个平均值）构成计算的基础。

5.峰值像素偏差由像素标准差图的99.5百分位数定义，用于36次连续测量（16次平均值）; 该结果测量时变行为（或A类不确定性）。