Verifire-精密、操作简单、高性价比的抗震型激光干涉仪Verifire干涉仪系统提供平面、球面、光学系统及组件的透射波前的快速，高精度测量。可以测量玻璃或塑料光学元件，如平板、透镜和棱镜，甚至精密机加工的金属和陶瓷表面。

ZYGO新一代激光干涉仪系列 VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、高稳频的激光系统、抗震技术、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。

ZYGO独创的激光器

长寿命、高功率、稳频

ZYGO专有的这款激光器的的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

Verifire精密、操作简单、高性价比的抗震型激光干涉仪

Verifire干涉仪系统提供平面、球面、光学系统及组件的透射波前的快速，高精度测量。可以测量玻璃或塑料光学元件，如平板、透镜和棱镜，甚至精密机加工的金属和陶瓷表面。

Verifire系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYGO在面形计量行业无与伦比的经验。共光路的设计结合ZYGO的采集算法，和功能强大的MX软件实现了高精度的表面计量与的分析能力。

SmartAveraging技术

测量平均对于减少随机噪声源是一种非常有效的办法，如空气湍流的影响，但如何确定*佳的平均次数是令人头疼的…平均次数酞少影响测试效果，次数酞多则浪费测试时间。 SmartAveraging技术是ZYGO的MXm软件中一个独特的功能，可以自动计算评估并采用*佳的平均次数。SmartAveraging TM可以减少操作员的工作量，减少操作者的人为影响，增加测量结果的一致性。

QPSI抗震型干涉计量

优化的光学系统设计结合高功率激光器，使ZYGO专有的QPS抗震干涉技术，能够在震动环境中实现可靠的“零波纹”相位测量，并可以在质量控制实验室和生产现场提供准确的表面计量。

关键性能                                        

斐索型共光路系统保证精密测量

友好的图形用户界面，易于生产线上操作

创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量

利用的过程控制技术，快速提取测试中不变的信息

每一帧数据都将振动信息冻结

 

主要指标

测试模式      PSI移相模式和QPSI快速移相模式

激光光源      大功率，长寿命，稳频氦氖激光

波长          633nm

CCD分辨率     1K*1K像素

帧速          100Hz

光学放大      电控16X

操作系统      Windows10,64bit

测试软件      ZYGO软件MX

Mx

软件

－－功能强大，操作简单

集成大量常用测量程序模块

² 多个样品的同时分析

² 球面曲率半径的测量

² 角锥和棱镜测量

² 双球面和三平板的测量

² 相对角度和楔板楔角的测量

² 材料均匀性的测量

² 傅立叶变换移相干涉测量(MST型)

² 动态设备如MEMS的测量

² 薄膜上下层形貌和厚度的测量

² 金属零件的测量