Zygo Verifire HD抗震高分辨斐索型激光干涉仪

Verifire  HD带有QPSI抗震技术的高分辨率激光干涉仪

ZYGO的 Verifire HD干涉仪系统能够对平面和球面面形进行快速的高分辨率的测量，能够测量单个光学元件和光学组件的透射波阵面。测量时，干涉腔的长度被精确的调节的同时通过高帧速的相机采集干涉图像，最后通过软件对获取到的条纹进行计算分析给出样件表面精细的面形信息。

 

展示样品表面的中频特性

样品表面的中频特性不再被忽视。 Verifire HD系统具有高分辨率的像机和最优化的光学设计，在以往测试中那些无法识的表面特征，现在都能真实可靠的测量并展现出来。此外，Mx软件包通过强大的功率谱密度(PSD)和衍射模拟工具可很容易的对中频频谱进行量化分析。

 

QPSl抗震型干涉法

QPSI 专利技术可以消除由于常见震动源导致的波纹和相位噪声，例如研磨和抛光设备，马达电机，各种泵，鼓风机和人员的活动引起的震动，这也就意味着你可以在生产车间使用Verifire HD系统，没有震动引起的测试问题，也无需花费昂贵的代价配置特殊的隔震平台。QPSI技术通过一个强大的新型专用激光器和高帧速的摄像机得以实现。不需要校准或特殊设置。只需要一个简单的菜单选项 启用/禁用 QPSI技术。

 

大功率长寿命激光器

好马配好鞍！高性能 Verifire HD系统必须匹配同样高性能的激光器。其所配激光器,其所配激光器必须必须比典型的千涉仪中所用的激光器功率更大，同时，我们希望这个激光器应该具有更长的使用寿命，以便能减小由于更换激光器停工的时间。

为了确保激光器符合我们严格的要求和标准，我们决定自行设计和制造这个激光器。我们专利的 field-proven设计为该激光器。提供了无与伦比的可靠性和更长的使用寿命。这个高性能的激光器是Zygo独家所有。

 

模块化选项 更加灵活

Verifire HD模块化的选项使得你能够根据你的需求准确的配置你的系统。

一些可用的配置选项为；

点光源和相干噪声的消除(伪迹抑制)

5.3或1.4百万像素相机

电控选择分立变焦(1X,1.7X,3x)    (只对应1.2kx1.2k配置)

 

主要指标

测量技术  快速机械相移模式QPSI   

经典机械相移干涉模式PSI

激光光源 大功率稳频氦一氖激光，a级

波长     633nm

频率稳定度 <0.0001 nm

相干长度   >100m

5.3M像素相机   分辨率:2304&times;2304；帧速:210HZ;数位:8位；快门:200μs-10ms;

数据采集时间 130-300ms

放大   1倍固定,1-50倍数码变焦

偏振   接近圆偏振(1.2:1或者更好)

光瞳调焦范围 4英寸：&plusmn;2.5m；6英寸：&plusmn;5.5m

RMS重复性  <0.06m,λ/10.000(2σ)

RMs波前重复性<0.35mm，λ/1800(mean+2σ)

像素峰值偏差<0.5rm，λ/1200 (99.5th)

 

单点金刚石加工表面的中频信息

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

ZYGO激光干涉仪系列产品一览

ZYGO新一代激光干涉仪系列 VeriFire 激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、高稳频的激光系统、抗震技术、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO领先技术的集中体现。

 

ZYGO独创的激光器长寿命、高功率、稳频

ZYGO专有的这款激光器的设计和制造都是在康涅狄格州，米德尔菲尔德。该激光器的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，最大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。

 

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

 

MX软件--功能强大，操作简单

集成大量常用测量程序模块

多个样品的同时分析

球面曲率半径的测量

角锥和棱镜测量

双球面和三平板的测量

相对角度和楔板楔角的测量

材料均匀性的测量

傅立叶变换移相干涉测量(MST型)

动态设备如MEMS的测量

薄膜上下层形貌和厚度的测量

金属零件的测量

 

简单的定制过程，用户可调

设定数控采集和数据处理过程中的各种参数

选择需要显示的图像曲线和数据结果

几百种符合工业标准的数据可供选择

自定义屏幕上各种窗口的编排

保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果

 

适用于工业化生产的软件

质量控制--自动显示“合格/不合格”

编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息

根据用户定义的计算公式，产生相应的结果

实时屏现SPC

自动数据保存和统计

应用程序"锁定"功能

 

强大的数据分析功能

数据滤波和剪辑

像差计算

PSF和MTF图

斜率图/功率谱密度/环绕能

ASCII和"XYZ"数据格式

Zernike 分析

数据和图像加减、缩放、旋转和转换

ZEMAX、CodeV和OSLO数据格式

 

干涉仪附件

ZYGO公司提供大量多种附件，包括透射/反射平面/球面标准镜和参考镜.样件固定配件.扩束器，光束转换器.曲率半径测量件等。ZYGO可以根据客户要求设计和定制参考光学元件。